极大规模集成电路平坦化工艺与材料
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发布时间:
2023-09-29
案例地址:
河北工业大学

产品介绍

该项目受国家中长期科技发展规划02重大专项资助,研制出了多层铜布线系列碱性抛光液,拥有自主知识产权。经美国硅谷技术中心、台湾平坦化协会、中芯国际(北京)等研究机构和大生产线评估测试,dishing、 erosion、 粗糙度、一致性、 抛光速率、电参数等多项参数达到或超过了国际上主流产品的水平。国家02专项办聘请国内20多名知名专家对该项目进行了实地测试与现场验收,对项目给予了充分肯定和高度评价,认为技术指标达到世界前列。